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主要技术指标：
　　★炉管数：1～4管
　　★配工艺管口径：Φ90～360　mm（3～12英寸）
　　★恒温区长度：760～1000　mm±1.0℃（300～800℃）
　　         760～1000　mm±0.5℃（800～1280℃）
　　★单点稳定性：±1.0℃／24h（300～800℃）
　　         ±0.5℃／24h（800～1280℃）
　　★气源路数：≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
　　★气体控制：浮子／质量流量计
　　★悬臂舟参数：速度：20～1000　mm／min  最大行程：2000  定位精度：±1　mm   最大载荷：17　Kg
　　★超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）  噪音：≤62dB（A）  振动：≤3μm